Agilent安捷倫CombiTSP 500 集成了VacIon 500 L/s 離子泵、TSP泵芯和 TSP低溫擋板，可在體積不變的情況下提高抽速。TSP泵芯的吸氣特性可快速達到超高等真空狀態(tài) (UHV/XHV)，從而降低極限真空。低溫擋板可進一步提高可吸收氣體的抽除效率。三極離子泵元件對甲烷、氬氣和氦氣具有很高的抽速和容量。

這款泵非常適合粒子物理學(xué)和其他低壓研究（如表面科學(xué)、納米技術(shù)、材料科學(xué)），可根據(jù)您的需求定制不同的高壓真空通導(dǎo)件、泵體幾何形狀和泵元件。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品特點

·該離子-TSP 復(fù)合泵為 VacIon Plus 500，帶有一個附加側(cè)孔或底部安裝的 8 英寸 ConFlat 孔。

·可選擇三極離子泵、二極離子泵或惰性氣體二極離子泵抽氣單元，可達到惰性氣體 (UHV/XHV) 抽速。

·配備 ConFlat 8 英寸非旋轉(zhuǎn)型入口法蘭以及采用雙法蘭或帶側(cè)孔配置的額外 8 英寸 ConFlat 孔。

·低溫擋板安裝在外徑 8 英寸的 ConFlat 法蘭上，還包括一個用于安裝 TSP 泵的 2.75 英寸 ConFlat 法蘭。

·包括 TSP 泵芯，但未安裝在泵內(nèi)。

·低溫擋板可為 TSP 的升華鈦提供更大的表面積，避免真空系統(tǒng)發(fā)生不需要的鈦膜沉積。

·使用液氮冷卻時，低溫擋板提高了吸氣過程的效率和抽除水的速度。也可在水冷下運行，或在超高真空等真空下無需冷卻地運行。

·配備已安裝的 120 Vac 或 230 Vac 加熱器，還有多種真空穿導(dǎo)件可供選擇（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）。

·電纜和控制器單獨提供。

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品選型