德國BDiscom發(fā)生器BDiscom有源前面板系列

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德國BDiscom發(fā)生器BDiscom有源前面板系列

BDS SP 500 直流濺射電源

用于直流濺射工藝的 Bdiscom 電源。500 瓦 FS

具有快速電弧檢測 (< 200 nSec) 和數(shù)字接口的價格競爭力的直流電源。適用于中小型研發(fā)和工業(yè)濺射工具。

用于濺射工藝的 Bdiscom 直流電源。

高效率、高可靠性和市場上*吸引力的價格。

北斗中頻發(fā)生器

適用于任何高/低壓（3kV 至 7kV）PECVD 和 PVD 工藝的最新且*價格競爭力的中頻發(fā)生器

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BDS-ARC發(fā)生器

高性能發(fā)生器，適用于高效率 (> 90 %) 的大電流 CAE 過程

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BDS HF 200 - 300 - 750 黑盒系列

新一代格競爭力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑匣子射頻發(fā)生器

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BDS HF 200 - 300 - 400 - 750 有源前面板系列

新一代價格競爭力和高效率的 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 有源面板射頻發(fā)生器

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BDS AMN 750 射頻自動匹配網(wǎng)絡(luò)

BDS AMN 750 射頻自動匹配網(wǎng)絡(luò)

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等離子矩陣和超級等離子矩陣

價格競爭力的臺式 RF 13.56 MHz 等離子體反應(yīng)器系統(tǒng)系列，適用于研發(fā)或小型工業(yè)試生產(chǎn)中的大部分清潔/蝕刻工藝（從 2.5 到 40 升 SS 304 真空室）

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北斗VIMM

BDS VIMM - 可變電感手動匹配單元 - 是目前市場上的 RF 13.56 MHz 電感手動匹配網(wǎng)絡(luò)，具有以下規(guī)格中描述的一些*功能。

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BDS GLOW 3000/6000 發(fā)電機

用于輝光放電過程的帶有 AFP（觸摸屏有源前面板）的新型高壓直流發(fā)生器

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BDS SP 500 直流濺射電源

BDS SP 500 直流濺射電源

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BDS SP 3、6 和 12 濺射電源

BDS SP 3、6 和 12 濺射電源