我研究室生產(chǎn)的KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

產(chǎn)品主要特點(diǎn)

1、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。

2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

中國科學(xué)院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機(jī)/旋涂儀/涂膠機(jī)

產(chǎn)品簡介 

我研究室生產(chǎn)的KW-4A型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

產(chǎn)品主要特點(diǎn) 

1、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。 

2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。   

3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，使膠攤開，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào)，時(shí)間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。 

4、具有定時(shí)功能。  

5、測速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測速準(zhǔn)確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺勻膠機(jī)工作，適合流水線的工藝，提高了效率。   

7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。 

性能指標(biāo)：

參數(shù)	指標(biāo)
調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間	Ⅰ檔調(diào)速范圍：500-2000轉(zhuǎn)/分Ⅰ檔勻膠時(shí)間：2-18秒 Ⅱ檔調(diào)速范圍：1300-8000轉(zhuǎn)／分Ⅱ檔勻膠時(shí)間：3-60秒
適用	Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠
電機(jī)功率	40W
LED數(shù)字顯示	轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1％，膠的均勻性：±3％
真空泵抽氣速率	≥60升／分
儀器尺寸	210×220×160mm