真空等離子清洗機(jī)VP-RS6采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置技術(shù)，樣品腔容積6升，樣品腔不銹鋼材質(zhì)，兩路進(jìn)氣，中英文觸摸屏操作控制，頻率13.56MHz，功率500W，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運(yùn)行3分鐘，腔體溫度不高于45℃，不損傷樣品，適用于晶圓去膠、煤灰化、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料PLASMA處理。

      廣州善準(zhǔn)科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中國廣州，專注于真空等離子清洗機(jī)、真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀、旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機(jī)的研究、開發(fā)和制造。善準(zhǔn)人經(jīng)過多年的刻苦鉆研，抽絲剝繭，反復(fù)測試、成功獲得“一種低溫旋轉(zhuǎn)型石英等離子表面處理裝置：ZL202020226847.2）”等十項國家技術(shù)及軟件著作權(quán)，成為國內(nèi)掌握產(chǎn)生13.56MHz頻率，保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內(nèi)溫度不超過32攝氏度的等離子生產(chǎn)廠家，應(yīng)用此技術(shù)的VP-R系列迅速成為行業(yè)“爆款”，補(bǔ)充國內(nèi)技術(shù)空白，性能比肩一線廠家；研發(fā)生產(chǎn)的旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀和旋轉(zhuǎn)型等離子體低溫灰化儀成功推出，進(jìn)一步鞏固了善準(zhǔn)科技在真空等離子清洗行業(yè)的地位；而回應(yīng)市場需求，解決樣品在無氧無水條件下進(jìn)行PLASMA處理的痛點(diǎn)而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀，則驗證了善準(zhǔn)人與時俱進(jìn)的研發(fā)能力和敢為人先的風(fēng)格；VS-Q系列石英管真空封管機(jī)解決實(shí)驗室安全、簡易地真空密封石英管的難點(diǎn)，是對石英管真空密封技術(shù)的重新定義。