小型真空等離子清洗機(jī)是一款專門針對(duì)科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境；清洗過程不會(huì)產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料，應(yīng)用廣泛。