外部尺寸641*533*451mm （1341*533*451mm可選底

座）

真空腔尺寸材質(zhì)6061-T6 鋁合金241mm*280mm*201mm

電極尺寸200mm *200mm，多控自適應(yīng)平板電極

等離子體發(fā)

生器

頻率：13.56MHz；自動(dòng)阻抗匹配電源

功率0-200W 連續(xù)可調(diào)，精度 1W 自適應(yīng)功率匹配

0-500W連續(xù)可調(diào)，精度 1W自動(dòng)阻抗匹配電源

0-750W 連續(xù)可調(diào)，精度 1W自動(dòng)阻抗匹配電源

真空計(jì) 熱電偶真空計(jì)0-100KPa

供氣2 路氣體，精密針閥控制

控制方式4.3 寸觸摸屏，多級(jí)應(yīng)用菜單，操控簡(jiǎn)易快捷

選配件飛越VRD 油泵/萊寶/安捷倫DS 系列干泵

電源220V，10A