臭氧發(fā)生器常用的氣源大體可分為下列幾種：

1）干燥空氣氣源——無(wú)油的壓縮空氣經(jīng)過(guò)冷卻、干燥、過(guò)濾處理后作為原料氣使用；

2）富氧氣源——無(wú)油壓縮空氣經(jīng)過(guò)冷干處理送入PSA空分系統(tǒng)將氮?dú)夂脱鯕夥蛛x，并將氧氣收集作為原料氣（此原料氣含有惰性氣體和二氧化碳及少量氮?dú)?，并非純氧氣所以稱為富氧源）；

3）工業(yè)氧氣源——通常使用瓶裝工業(yè)氧氣（大多適用于小型臭氧發(fā)生器）；

4）液氧——液態(tài)氧經(jīng)過(guò)汽化器汽化減壓后送入臭氧發(fā)生器作為原料氣（常用于大型臭氧發(fā)生器）。