飲用水臭氧消毒設(shè)備主要是為了消毒也為能得到病原性病毒，賈弟蟲及隱孢子蟲滅活性化的log去除率，消毒以外之用途有利用臭氧強(qiáng)氧化作用去除硫化氫、鐵、錳，脫色，控制三鹵甲wan和鹵代醋酸等消毒副產(chǎn)物，輔助凝聚處理及去濁，另外可氧化分解藍(lán)藻菌引起霉?fàn)€味的物質(zhì)。許多報(bào)導(dǎo)單臭氧或臭氧與過氧化氫合用的高級(jí)臭氧處理能有效對(duì)難分解性有機(jī)化合物進(jìn)行分解去除。

飲用水臭氧消毒設(shè)備的臭氧（O3）在1840年后逐漸被人們所認(rèn)識(shí)。臭氧由三個(gè)氧原子組成。由于其氧化還原電位高，氧化能力強(qiáng)，可降解水中的各種雜質(zhì)，殺滅各種致病菌、霉菌和病毒，殺滅觀賞貝類幼蟲（高達(dá)98%）等軟體動(dòng)物和獨(dú)眼巨人、寡毛綱、水蚤類輪蟲等水生生物，所以臭氧滅菌實(shí)驗(yàn)早在1886年就在法國進(jìn)行了。1893年，一座3m3/h的凈水廠在荷蘭投入運(yùn)行。1906年在法國尼斯建造的臭氧水處理廠一直運(yùn)營到1970年。尼斯水廠被譽(yù)為“飲用水臭氧化的發(fā)源地”。20世紀(jì)80年代以來，我國少數(shù)自來水廠采用臭氧法，如北京田村自來水廠（15kgO3/h）、昆明自來水廠（33kgO3/h），部分工礦企業(yè)自來水廠如大慶油田、勝利油田、燕山石化等單位也有臭氧設(shè)備在運(yùn)行。在一些國家政策上也標(biāo)出了臭氧對(duì)水的有效凈化作用。