目錄:卡爾蔡司(上海)管理有限公司>>電子顯微鏡>>雙束電鏡>> 蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
---|
蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab
[產(chǎn)品簡介]
蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab,作為一款專為半導(dǎo)體行業(yè)TEM樣品制備開發(fā)的聚焦離子束掃描電子顯微鏡(FIB-SEM),提供優(yōu)異的靈活性、自動化功能和用戶友好設(shè)計(jì),幫助半導(dǎo)體行業(yè)的樣品制備更加簡便高效。
[產(chǎn)品特點(diǎn)]
l 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)軟件界面
l 優(yōu)化配置提升設(shè)備和軟件穩(wěn)定性
l 全自動TEM樣品制備體驗(yàn)
l 原位(in-situ, lift-out)與非原位(ex-situ, pick-up)靈活可用
l 高質(zhì)量的自動與手動制樣
[應(yīng)用領(lǐng)域]
電子和半導(dǎo)體行業(yè),失效分析及TEM樣品制備。
【應(yīng)用案例】
分別使用全自動非原位(ex-situ, pick-up)與原位(in-situ, lift-out)制樣的 TEM 薄片樣品
手動最終減薄的 7nm 工藝處理器,平面 TEM 薄片
使用 Crossbeam 內(nèi) STEM 探測器拍攝
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)