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實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)施工

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更新時(shí)間:2021-09-03 14:41:54瀏覽次數(shù):680

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實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)施工不銹鋼制管件是用來(lái)傳輸各種制程氣體的主要管件,尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險(xiǎn)性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質(zhì)的管件中為嚴(yán)格

詳細(xì)介紹

實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)施工使用*的自動(dòng)焊接施工工藝安裝管道、減壓器、壓力表、高壓金屬軟管、鋼瓶接頭、焊接接頭、卡套接頭、不銹鋼潔凈管等。

(1)易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒,當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí),PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃??扇?*氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%。屬于**氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

(2)毒性氣體(Toxic Gas):半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過(guò)程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來(lái)控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
(4)惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害,在氣體傳輸過(guò)程中,相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性氣體(Oxide Gas):這類氣體有較強(qiáng)的氧化性,一般同時(shí)具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
實(shí)驗(yàn)室氣路設(shè)計(jì)施工不銹鋼制管件是用來(lái)傳輸各種制程氣體的主要管件,尤其是傳輸一些劇毒易燃易爆的危險(xiǎn)性氣體。所以不銹鋼制管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質(zhì)的管件中為嚴(yán)格,一般對(duì)于P級(jí)要求(×10 -9級(jí))制程氣體的輸送,均要求采用SUS316材質(zhì)的EP (Electronic Polishing)管材,對(duì)于一般非制程氣體的輸送采用SUS316材質(zhì)的BA (Bright Anneal)管材。SUS316作為一種低含碳量的不銹鋼材料,它不僅具有抗腐蝕性好的優(yōu)點(diǎn),而且對(duì)凹洞的抵抗性也很好。由于BA管的制作是經(jīng)過(guò)了溶解、壓延(Hot/Cold Rolling)、溶接(Welding)、熱處理(Hot treatment)、研磨(Polishing)等復(fù)雜過(guò)程,其表面粗糙度 Rmax≦4.5mm。EP管材除了表面研磨等過(guò)程外,再加以電解研磨及精密洗凈技術(shù),其Rmax≦0.7mm。

氣體泄漏報(bào)警裝置

**氣體報(bào)警:如果氣瓶是集中存放的話,可以節(jié)少成本,用戶只需在實(shí)驗(yàn)室的角落安裝一個(gè)氣體泄漏報(bào)警/**氣體探頭,如果氣瓶房氣體發(fā)生泄漏的話,感應(yīng)探頭會(huì)即刻將信號(hào)傳至中心實(shí)驗(yàn)室的液晶顯示瓶上,并發(fā)出預(yù)警的聲音,這樣用戶就可以發(fā)即時(shí)維修。

低壓報(bào)警:當(dāng)用戶在實(shí)驗(yàn)室工作時(shí),需要知道氣體是否快要用盡,氣瓶壓力是否足夠,這對(duì)實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)不間斷氣體供應(yīng)是很重要的;


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