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| 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 自動化度 | 全自動 |
1.硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.
2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.
3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.
4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
四探針半導(dǎo)體電阻率測量儀測量采用四端接線法。為了滿足實際的需要，本儀器采用四探針法原理來實現(xiàn)對不同金屬、半導(dǎo)體、導(dǎo)電高分子材料的電阻及電阻率的測量?？捎糜谖锢斫逃龑嶒?，對導(dǎo)體/半導(dǎo)體/金屬薄膜材料的電阻 及電阻率的測試及研究。本產(chǎn)品的電阻測量范圍可達(dá)10-6—106Ω。
四探針電阻測試儀由主機(jī)、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。主機(jī)主要由數(shù)控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。自動/手動量程可選；電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換：儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入，簡便可靠；具有零位、滿度自校功能；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。
四探針半導(dǎo)體電阻率測量儀
1.方塊電阻sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-4～2×105Ω/□ | 10-3～2×105Ω/□ | 10-3～2×104Ω /□ | 10-2～2×105Ω/□ | 10-2～2×104Ω/□ |
2.電阻率Resistivity | 10-6～2×106Ω-cm | 10-5～2×106Ω-cm | 10-4～2×106Ω-cm | 10-4～2×105Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm |
3.測試電流Test current | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA |
4.電流精度Current | ±0.1% accuracy | ±0.2% accuracy | ±0.2% accuracy | ±0.3% accuracy | ±0.3% accuracy | ±0.3% accuracy |
5.電阻精度Resistance | ≤0.3% accuracy | ≤0.3% accuracy | ≤0.3% accuracy | ≤0.5% accuracy | ≤0.5% accuracy | ≤0.5% accuracy |
6.顯示讀數(shù)display | 屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity | |||||
7.測試方式 | test mode雙電測量Double electrical measurement | |||||
8.電源Power | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W | |||||
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