Hitachi日立高新掃描電鏡SU3500, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。
通過(guò)高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“*”。
日立高新鎢燈絲掃描電鏡SU3500具有實(shí)現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*1, 以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”*1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
特點(diǎn)
低加速電壓觀察時(shí)分辨率更高,可更好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2,自動(dòng)功能縮短*3了大約11秒
具有在低真空時(shí)可以非常好地觀察樣品表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測(cè)器)”*4
具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀察功能”*4
(*1):自選
(*2):和日立SEM S-3400N相比
(*3):根據(jù)觀察條件的不同,時(shí)間會(huì)有變動(dòng)
(*4):自選
Hitachi日立高新掃描電鏡SU3500?規(guī)格
項(xiàng)目 | 描述 |
二次電子分辨率 | 3.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm高真空模式) |
7.0nm(加速電壓=3kV,WD=5mm高真空模式) |
背散射電子分辨率 | 4.0nm(加速電壓=30kV,WD=5mm低真空模式) |
10.0nm(加速電壓=5kV,WD=5mm高真空模式) |
放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率*5) |
7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6) |
加速電壓 | 0.3 - 30kV |
可變壓力范圍 | 6 - 650Pa |
大樣品尺寸 | 直徑 200mm |
樣品臺(tái) | X | 0 - 100mm |
Y | 0 - 50mm |
Z | 5 - 65mm |
R | 360° |
T | -20° - 90° |
可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm (旋轉(zhuǎn)并用) |
大樣品高度 | 80mm(WD=10mm) |
馬達(dá)臺(tái) | 5軸標(biāo)配 |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動(dòng)光闌 |
探檢測(cè)器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器 |
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 |
EDX分析 WD | 10mm(取出角35°) |
圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知) |
圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) |
小屏模式(800 × 600 像素) |
雙圖像顯示(800 × 600 像素) |
四屏幕顯示(640 × 480像素) |
信號(hào)混合模式 |
排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)排氣 |
渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 |
機(jī)械泵 | 135L/min(162L/min,60Hz)× 1 |
(*2):以127mm×95mm(圖像尺寸4"×5")的顯示尺寸規(guī)定倍率
(*3):以345mm×259mm(像素1,280×960)的顯示尺寸規(guī)定倍率
(*4):Windows®是微軟公司在美國(guó)和其他國(guó)家的注冊(cè)商標(biāo)
注:該儀器未取得中華人民共和國(guó)醫(yī)療器械注冊(cè)證,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途