無塵室分類：

1.亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現(xiàn)潔凈的。氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制

程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

2. 層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

⑴水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴重。

優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

⑵垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

3. 復合式

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。

此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

無塵室設(shè)計方案注意事項：

1.無塵車間設(shè)計內(nèi)容有合理布置工藝流程和建筑平面；

2. 選擇滿足無塵車間特點的建筑構(gòu)造和材料；

3. 無塵車間設(shè)計應(yīng)依據(jù)當時當?shù)氐哪茉垂?yīng)背景，選定可靠和經(jīng)濟的冷、熱源；

4. 劃分和布置空調(diào)凈化和排風系統(tǒng)；

5. 選擇合理的空氣凈化通風設(shè)備； 無論是新建還是重新改造的無塵車間，都一定依照國家相關(guān)標準、規(guī)范進行。銅陵無塵室凈化裝修

無塵室設(shè)計時應(yīng)考慮的幾個特性：  

耐久性：  

  無塵車間要有符合環(huán)境、無塵車間內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵車間等級來建造。半導體傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。  

清洗：   

在制藥和生物工學工業(yè)，無塵車間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特性。在市場，清洗真正地是一個重要的企業(yè)。 

適應(yīng)性：  

 一些廠商認為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致大的損失。擁有者和設(shè)計者的能力為改變的關(guān)鍵，所以他們從不將初的設(shè)計定型。

維護性：

對無塵車間而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個不同區(qū)域的小房間，曾有人說：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實天花板是一個頗復雜的系統(tǒng)其必須嚴格地過濾粒子，故其設(shè)計必須準確，無塵潔凈室的風管系統(tǒng)要保證密封性, 嚴格檢測風管泄漏, 定期進行漏光測試或漏風測試, 監(jiān)測法蘭或螺紋密閉性, 必要時進行焊接或密封膠處理。

無塵室的構(gòu)成：

一般情況下，無塵室是指生產(chǎn)和檢驗所需的工作環(huán)境，對于生產(chǎn)環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與生產(chǎn)產(chǎn)品工藝流程相對應(yīng)的功能間，如注塑間、干燥間等；對于檢驗環(huán)節(jié)，應(yīng)包括與檢驗有關(guān)的功能間，如陽性對照間、無菌檢驗間和微生物限度間等；為生產(chǎn)服務(wù)的輔助功能間，如洗衣間、潔具間等以及連接各功能間的緩沖過渡通道。

無塵的氣流組織形式是實現(xiàn)潔凈環(huán)境的重要保證措施。一般氣流組織形式有非層流方式或?qū)恿鞣绞絻煞N。用高度凈化的空氣把車間內(nèi)產(chǎn)生的粉塵稀釋，叫做非層流方式（亂流方式）。用高度凈化的氣流作為載體，把粉塵排出，叫做層流方式。層流方式有垂直層流和水平層流兩種。從房頂方向吹入清潔空氣通過地平面排出叫垂直層流式，從側(cè)壁方向刮入清潔空氣，從對面?zhèn)缺谂懦鼋兴綄恿魇?。亂流方式由于換氣次數(shù)的變化潔凈度也隨之變化。

無塵室的氣流應(yīng)滿足潔凈度和人體健康的要求，如關(guān)鍵工作操作點應(yīng)位于潔凈空氣流的上風側(cè)，對散發(fā)有害物質(zhì)的工作點，人的頭部應(yīng)避免在其空氣流正對的下風側(cè)。應(yīng)使無塵車間氣流流向單一。非單向流潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置操作臺時，其位置應(yīng)遠離回風口。產(chǎn)品也不應(yīng)擺放在回風口附近，因為回風口處的潔凈度比較差?；仫L口應(yīng)均勻布置在潔凈室（區(qū)）的下部，高度應(yīng)低于工作臺面。潔凈室（區(qū)）內(nèi)有局部排風裝置時，其位置應(yīng)設(shè)在工作室氣流的下風側(cè)，以免氣流短路。銅陵無塵室凈化裝修