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上海睿丹自動化儀表有限公司
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掩膜無線測溫系統(tǒng)

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號RD8655

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地上海市

更新時間:2025-01-15 12:08:47瀏覽次數(shù):964次

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產地類別 國產 應用領域 環(huán)保,生物產業(yè),石油,制藥,綜合
掩膜無線測溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉印到產品基板上。在半導體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高,需要嚴格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統(tǒng)用于準確測量光掩膜版的溫度分布。

掩膜無線測溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版,由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉印到產品基板上。在半導體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高,需要嚴格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統(tǒng)用于準確測量光掩膜版的溫度分布。

掩膜無線測溫系統(tǒng)產品特點主要技術參數(shù)

1.  體積小、精度高、采樣速度快;

2. 溫度準確度高達1mK;

3采用無線通訊方式,響應時間短。

掩膜無線測溫系統(tǒng)

溫度范圍

0 ~ 30℃

溫度準確度

1mK(3σ)

重復測量準確度

<2mK(3σ)

傳感器響應時間

1s

采集頻率

max.4Hz

連續(xù)工作時間

100min

傳感器數(shù)量

14

通訊方式

Wifi

保修期

1年




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