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技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考?xì)怏w兼容表

           一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量    程    從0-0.5 SCCM 到 0-6000 SLPM

測量范圍    0.01～100%滿量程

最大顯示流量    128%滿量程

顯 示 屏    帶按鍵背光開關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精    度    ±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程） 精度升級(jí)部分見左下角

           ±（0.4%讀數(shù)+ 0.2%滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度  流量精度之外增加±0.5%讀數(shù)額外誤差

重 復(fù) 性    ± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度零點(diǎn)和滿量程漂移    0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量壓力零點(diǎn)和滿量程漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時(shí)間    優(yōu)于10 ms（與流量相關(guān)）

預(yù)熱時(shí)間    < 1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選低溫選項(xiàng)）

溫度精度    ± 0.75℃

充電溫度    0～ 45 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

最大工作壓力    1MPa表壓，進(jìn)出口最大允許瞬時(shí)壓差500 KPa

最di操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80KPaA以上使用；

               其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.07 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號(hào)40 Hz@19200波特率

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸出信號(hào)    RS232

供電電壓    5 VDC （Micro - USB - B）

電氣接口    Micro-USB-B

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

續(xù)航時(shí)間    黑白屏 18小時(shí)，彩屏 5小時(shí)

材    質(zhì)   302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷  （可選主體鋁材質(zhì)）

過程連接    詳情參考?jí)簱p表

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級(jí)    IP40

認(rèn)    證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）