目錄:青島天仁微納科技有限責(zé)任公司>>納米壓印服務(wù)>> GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備
GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備,自動(dòng)上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。
GL150 PreNIL/GL300 PreNIL全自動(dòng)納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備主要功能
●全自動(dòng)納米壓印光刻基底預(yù)處理
●機(jī)械手自動(dòng)上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能
●毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗
●旋涂勻膠,包含自動(dòng)供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能
●熱板烘烤、冷板冷卻功能
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