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NS3500 L-高速3D激光共聚焦顯微鏡
  • NS3500 L-高速3D激光共聚焦顯微鏡
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更新時間:2024-11-29 16:12:22

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NS-3500是一種準(zhǔn)確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。

NS3500L 三維激光共聚焦顯微鏡

NS-3500L 是一種準(zhǔn)確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種的解決方案。

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):

  • 高分辨無損傷光學(xué)3D測量                               自動傾斜補償

  • 實時共焦成像                                                 簡單的數(shù)據(jù)分析模式

  • 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

    大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

  • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準(zhǔn)備

  • 自動聚焦

 

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

 

 

 

Specification(規(guī)格):

?Model

Microscope  NS-3500

備注

 

                     NS-3500E

物鏡倍率

10x

20x

50x

100x

150x

 

觀察/  測量范圍  

水平 (H): μm

1400

700

280

140

93

 

垂直 (V): μm

1050

525

210

105

70

 

工作范圍: mm

16.5

3.1

0.54

0.3

0.2

 

數(shù)值孔徑(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95

0.95

 

光學(xué)變焦

x1 to x6

 

總放大倍率

178x to 26700x

 

觀察/測量光學(xué)系統(tǒng)  

Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

 

高度測量

測量掃描范圍

精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S]

 

長掃描 : 10mm [NS-3500-T]

顯示分辨率

0.001 μm

 

重復(fù)率 σ

0.010 μm

注 1

寬度測量

顯示分辨率

0.001 μm

 

重復(fù)率 3σ

0.02 μm

注 2

幀記憶

像素

1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

 

單色圖像

12 bit

 

彩色圖像

8-bit for RGB each

 

高度測量

16 bit

 

幀速率

表面掃描

20 Hz to 160 Hz

 

線掃描

~8 kHz

 

自動功能

自動增益

 

激光共焦測量光源

波長

 405nm

 

輸出

~2mW

 

激光等級

Class 3b

 

激光接收元件

PMT (光電倍增管)

 

光學(xué)觀察光源

10W LED

 

光學(xué)觀察照相機

成像元件

1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

 

記錄分辨率

640x480

 

自動調(diào)整

增益, 快門速度, White balance

 

數(shù)據(jù)處理單元

 PC

 

電源

電源電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

 

電流消耗

500 VA max.

 

重量

顯微鏡

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)

 

控制器

~8 kg

 

 

注 1 :以100×/ 0.95物鏡對標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長1μm)進行100次測量                                                                   

注 2 :以100×/ 0.95物鏡對標(biāo)準(zhǔn)樣品(5μm間距)進行100次測量。

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