高低溫真空探針臺進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2k-500k），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計，樣品臺采用高純度無氧銅制作。溫度均勻性好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過的硅二管做為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍金相顯微鏡，可微調(diào)移動，器件的高頻特性，探針熱沉設(shè)計，LD/ED/PD的光強(qiáng)/波長測試自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。應(yīng)用于高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運(yùn)特性等。

可選附件：

t 防震桌

t 多級壓縮制冷機(jī)

t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵

t 射頻部件

t 各類型頻率真空接頭

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…

t 各類探針夾具

t Chuck運(yùn)動裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件