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當前位置：北京東方信捷科技有限公司>>美國SRS通用儀器設備>>美國SRS真空檢測設備>> 美國SRS RGA系列殘余氣體分析儀
產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地北京市
更新時間：2023-08-04 16:19:28瀏覽次數(shù)：2134次
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美國SRS RGA系列殘余氣體分析儀
RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
• 100，200，和300amu 優(yōu)于1amu 的分辨率6 個量級的動態(tài)范圍可檢測5 x 10-14Torr
殘余氣體分析儀（RGA）劃分為RGA100、RGA200、RGA300amu三種型號，其優(yōu)異的性能和價值是真空分析儀的產(chǎn)品。每一個RGA 系統(tǒng)都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實時分析windows 軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進行遠程控制。
探測器類型 | 標準法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM) |
分辨率 | 優(yōu)于0.5amu |
靈敏度(A/Torr) | 2 × 10?4 (FC), <200 (EM) |
探測極限 | 5 × 10?11 Torr (FC), 5 × 10?14 Torr (EM) |
測試范圍 | 10?4 Torr to UHV (FC) 10?6 Torr to UHV (EM) |
操作溫度 | 70℃ (max.) |
工作溫度 | 300℃ (without ECU) |
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