艾默生的TESCOM氣體調(diào)壓器TESCOM閥門，艾默生幫助提高良率和過(guò)程可靠性，在關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造應(yīng)用中，最要避免的就是停車。我們了解減少污染的必要性，因而提供可靠過(guò)程來(lái)優(yōu)化良率。艾默生的產(chǎn)品在世界各地的半導(dǎo)體制造廠和代工廠均能夠提供性能，值得信賴。艾默生全球網(wǎng)絡(luò)為您的半導(dǎo)體制造過(guò)程提供本地化支持。 

艾默生的TESCOM氣體調(diào)壓器經(jīng)過(guò)優(yōu)化，使制造設(shè)施的半導(dǎo)體氣體傳輸系統(tǒng)可靠又安全。這些產(chǎn)品易于使用和安裝，用途廣泛，具有模塊化功能，非常適合用來(lái)更改或擴(kuò)展生產(chǎn)目標(biāo)，它們支持定制解決方案，適配高完整性標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用。我們深受信賴的全球網(wǎng)絡(luò)可針對(duì)特殊應(yīng)用挑戰(zhàn)提供本地化支持。

半導(dǎo)體制造商的制造依賴于強(qiáng)大的大流量特殊材料供氣系統(tǒng) (BSGS)，它以大容量和高流速連續(xù)供給特殊材料氣體，更大限度地改善產(chǎn)量和生產(chǎn)時(shí)間。艾默生調(diào)壓器設(shè)計(jì)目的就是從始至終幫助完成大容量供氣。我們的產(chǎn)品可確保正常運(yùn)行時(shí)間，提供可靠的主要接觸點(diǎn)，同時(shí)確保在整個(gè)應(yīng)用中進(jìn)行大容量傳輸。 

最終用戶的生產(chǎn)依賴于連接到制造工具和應(yīng)用的氣體分配點(diǎn)的精確壓力控制。艾默生的調(diào)壓器可以在閥組箱和過(guò)程工具間完成出色的壓力控制。我們的技術(shù)設(shè)計(jì)幫助創(chuàng)建可靠的最終接觸點(diǎn)，確保過(guò)程的質(zhì)量、純度和可重復(fù)性，并減少因介質(zhì)污染導(dǎo)致的不良產(chǎn)品數(shù)，提高良率。

艾默生的TESCOM氣體調(diào)壓器TESCOM閥門，氣柜系統(tǒng)依靠精確控制才能安全有效地存儲(chǔ)常見危險(xiǎn)介質(zhì)以供半導(dǎo)體制造系統(tǒng)使用。艾默生的 TESCOM 調(diào)壓器有助于確保天然氣分配鏈中該必需節(jié)點(diǎn)的完整性。我們的技術(shù)通過(guò)改進(jìn)操作界面和控制，使最終用戶簡(jiǎn)化維護(hù)、減少停機(jī)時(shí)間并管理生產(chǎn)計(jì)劃的增加。

半導(dǎo)體制造工藝對(duì)生產(chǎn)工具和半導(dǎo)體晶圓上的懸浮分子污染物 (AMC) 控制有依賴，晶圓幾何尺寸縮小使之變得更具挑戰(zhàn)性。艾默生的電磁閥技術(shù)實(shí)現(xiàn)靈敏的響應(yīng)、精確的流量控制以及出色的氮?dú)獯祾哒拘阅芘c可靠性，有助于縮減維護(hù)和停車并提高產(chǎn)量。

半導(dǎo)體制造要依靠系統(tǒng)智能和通信來(lái)達(dá)到高吞吐量和可靠性標(biāo)準(zhǔn)。涉及處理系統(tǒng)所有方面的精細(xì)的 IIoT 功能幫助艾默生精確控制溫度、流量、壓力和位置。我們的解決方案提供到閥門的一致通信，并在嚴(yán)苛的半導(dǎo)體制造應(yīng)用中集成 web 服務(wù)器。

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