3D光學(xué)干涉輪廓儀是利用光學(xué)原理開(kāi)發(fā)的非接觸測(cè)量?jī)x器，更能滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化測(cè)量的高精度、低成本和小型化需求。具有測(cè)量精度高、功能全面、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量。

3D光學(xué)干涉輪廓儀工作原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。

NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀優(yōu)勢(shì)