一、濺射準(zhǔn)備
保持真空腔體尤其是濺射系統(tǒng)潔凈是非常重要的。任何由潤滑油和灰塵以及前期鍍膜所形成的殘留物會(huì)收集水氣及其他污染物，直接影響真空度獲得和增加成膜失敗的可能性。短路或靶材起弧，成膜表面粗糙及化學(xué)雜質(zhì)含量超標(biāo)經(jīng)常是由于不潔凈的濺射室、濺射槍和靶材引起的。
為保持鍍膜的成分特性，濺射氣體(氬氣或氧氣)必須清潔并干燥，濺鍍腔內(nèi)裝入基材后便需將空氣抽出，達(dá)到工藝所要求的真空度。
暗區(qū)屏蔽罩，腔體壁及鄰近表面也需要保持潔凈。在清洗真空腔體時(shí)我們建議采用玻璃球拋丸法處理有污垢的部件同時(shí)用壓縮空氣清除腔體四周前期濺射剩余物，再用氧化鋁浸漬過的沙紙輕輕的對表面進(jìn)行拋光。紗紙拋光后,再用酒精，丙酮和去離子水清洗，同時(shí)建議使用工業(yè)吸塵器進(jìn)行輔助清潔。
高純金屬生產(chǎn)的靶材采用真空密封塑料袋包裝,內(nèi)置防潮劑。使用靶材時(shí)請不要用手直接接觸靶材。注意：使用靶材時(shí)請配帶干凈而且不會(huì)起絨的保護(hù)手套，絕對避免用手直接接觸靶材。
二、靶材清潔
靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。金屬靶材可以通過四步清潔，第一步用在丙酮中浸泡過的無絨軟布清潔；第二步與第一步類似用酒精清潔；第三步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。
氧化物及陶瓷靶材的清洗建議用“無絨布”進(jìn)行清潔。在清除完有污垢的區(qū)域后，再用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會(huì)造成起弧的雜質(zhì)微粒。
三、靶材安裝
靶材安裝過程中最重要的注意事項(xiàng)是一定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。如果冷卻壁的翹曲程度嚴(yán)重或背板翹曲嚴(yán)重會(huì)造成靶材安裝時(shí)發(fā)生開裂或彎曲，背靶到靶材的導(dǎo)熱性能就會(huì)受到很大的影響，導(dǎo)致在濺射過程中熱量無法散發(fā)最終會(huì)造成靶材開裂或脫靶。為確保足夠的導(dǎo)熱性，可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請注意要仔細(xì)檢查和明確所使用濺射槍冷卻壁的平整度，同時(shí)確保密封圈始終在位置上。
由于所使用冷卻水的潔凈程度和設(shè)備運(yùn)行過程中可能會(huì)產(chǎn)生的污垢會(huì)沉積在陰極冷卻水槽內(nèi)，所以在安裝靶材時(shí)需要對陰極冷卻水槽進(jìn)行檢查和清理，確保冷卻水循環(huán)的順暢和進(jìn)出水口不會(huì)被堵塞。有些陰極設(shè)計(jì)是與陽極的空隙較小，所以在安裝靶材時(shí)需要確保陰極與陽極之間沒有接觸也不能存在導(dǎo)體，否則會(huì)產(chǎn)生短路。
請參考設(shè)備商操作手冊中關(guān)于如何正確安裝靶材的相關(guān)信息。在收緊靶材夾具時(shí)，請先用手轉(zhuǎn)緊一顆鏍栓，再用手轉(zhuǎn)緊對角線上的另外一顆鏍栓,如此重復(fù)直到安裝上所有鏍栓后,再用工具收緊。
四、短路及密封性檢查
靶材完成安裝后需要對整個(gè)陰極進(jìn)行短路檢查及密封性檢查，建議通過使用電阻儀搖表的方式對陰極是否存在短路進(jìn)行判斷。在確定陰極不存在短路后，可以進(jìn)行檢漏檢查，將水通入陰極確定是否存在漏水現(xiàn)象。
五、靶材預(yù)濺射
靶材預(yù)濺射建議采用純氬氣進(jìn)行濺射，可以起到清潔靶材表面的作用。靶材進(jìn)行預(yù)濺射時(shí)建議慢慢加大濺射功率，陶瓷類靶材的功率加大速率建議為1.5W小時(shí)/平方厘米。金屬類靶材的預(yù)濺射速度可以比陶瓷靶材塊，一個(gè)合理的功率加大速率為1.5W小時(shí)/平方厘米。
在進(jìn)行預(yù)濺射的同時(shí)需要檢查靶材起弧狀況，預(yù)濺射時(shí)間一般為10分鐘左右。如沒有起弧現(xiàn)象，繼續(xù)提升濺射功率到設(shè)定功率。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，金屬靶材可承受的最大濺射功率為25watts/平方厘米，陶瓷靶材為10watts/平方厘米。請同時(shí)參考用戶系統(tǒng)操作手冊中關(guān)于濺射時(shí)真空腔體壓力的設(shè)定。
根據(jù)經(jīng)驗(yàn)，一般應(yīng)確保冷卻水出水口的水溫應(yīng)低于35攝氏度，但最重要的是確保冷卻水的循環(huán)系統(tǒng)能有效工作，通過冷卻水的快速循環(huán)帶走熱量，是確保能以較高功率連續(xù)濺射的一項(xiàng)重要保障。對于金屬靶材一般建議冷卻水流量為20LPM，水壓在5GMP左右；對于陶瓷靶材一般建議水流量在30LPM，水壓在9GMP左右。
六、靶材保養(yǎng)
為避免在濺射過程中因?yàn)椴粷崈舻那惑w導(dǎo)致短路和起弧，有必要階段性的除去濺射軌道中間及兩側(cè)堆積的濺射物，這也有助于用戶可以連續(xù)以最大功率密度進(jìn)行濺射。
七、靶材儲(chǔ)存
北京金源新材公司所提供的靶材包裝在雙層真空塑料袋中,我們建議用戶將靶材無論是金屬或陶瓷類保存在真空包裝中,尤其是帖合靶材更需要保存在真空條件下，以避免帖合層氧化影響貼合質(zhì)量。對于金屬靶材的包裝，我們建議最少需要包裝在潔凈的塑料袋中。
八、背靶材料
無氧銅(OFC)–目前最常使用的作背靶的材料是無氧銅，因?yàn)闊o氧銅具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性，而且比較容易機(jī)械加工。如果保養(yǎng)適當(dāng)，無氧銅背靶可以重復(fù)使用10次甚至更多。鉬(Mo)–在某些使用條件比較特殊的情況下，如需要進(jìn)行高溫帖合的條件下，無氧化銅容易被氧化和發(fā)生翹曲,所以會(huì)使用金屬鉬為背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金屬靶材的熱膨脹系數(shù)無法與無氧銅匹配，同樣也需要使用金屬鉬作為背靶材料。不銹鋼管(SST)–目前最常使用不銹鋼管作為旋轉(zhuǎn)靶材的背管，因?yàn)椴讳P鋼管具有良好的強(qiáng)度和導(dǎo)熱性而且非常經(jīng)濟(jì)。
九、背靶重復(fù)使用
大部分背靶可以重復(fù)使用，尤其是采用金屬銦進(jìn)行帖合的比較容易進(jìn)行清潔和重新使用。如果是采用其他帖合劑（包括環(huán)氧樹脂）則可能需要采用機(jī)械處理的方式對背靶表面處理后才能重復(fù)使用。當(dāng)我們收到用戶提供的已使用過的背靶后，我們會(huì)首*行卸靶處理（如適用）并且對背靶進(jìn)行*檢查，檢查的重點(diǎn)包括背靶的平整度，完整性及密封性等。我們會(huì)通知用戶對背靶的檢查結(jié)果，如我們發(fā)現(xiàn)有需要維修的地方會(huì)書面通知客戶并提供維修報(bào)價(jià)。
十、包裝和運(yùn)輸
所有已貼合靶材包裝在真空密封塑料袋中，并附有防潮劑。外包裝一般為木箱，四周有防撞層，以保護(hù)靶材和背靶避免在運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中發(fā)生損壞。
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