產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥 |
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艙體規(guī)格 | 直徑150mm*長(zhǎng)度230mm | 輸出功率 | 0-300W;精度1W |
輸出頻率 | 13.56MHz | 外形尺寸 | 480mm*380mm*420mm |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
1. 桌面型,性能穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)便、使用成本極低、易于維護(hù),高性價(jià)比。
2.小身材,大容量,有效處理面積大
3.采用氣浴電極,清洗效率高。
4.可選擇40KHz或13.56MHz等離子發(fā)生器。
5.對(duì)各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性。
1、真空腔規(guī)格: 不銹鋼腔體,直徑150mm*(深)245mm
2、電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
3、電極尺寸:95*170mm
4、頻率:40KHz (可選配13.56MHz射頻等離子源)
5、功率:0-300W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)
6、氣體控制:針式氣體流量閥, 0-300ml 1路氣體
7、真空計(jì):電偶式真空計(jì),精度:0.01mTor
8、控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動(dòng)控制和全自動(dòng)控制兩種控制方式
9、控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)