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產(chǎn)品型號

  混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z

主要特點(diǎn)

  精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：185-245V  50Hz

  2、zui大輸出功率：18W

  3、控制范圍：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、

                            控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM

  4、zui大壓力：3×10⁶  Pa

  5、準(zhǔn)確度：±1%FS

  6、線性：±0.5-1.5%

  7、重復(fù)精度：±0.2%FS

  8、響應(yīng)時間：氣特性1-4s，電特性10s針閥：316不銹鋼

  9、工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa

  10、壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）

  11、混氣罐：Φ80mm×120mm

  12、截止閥：Φ1/4″，316不銹鋼針閥

  13、工作溫度：5-45℃

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：600mm×600mm×650mm