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目錄:沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司>>CVD及PECVD系統(tǒng)>>CBD/PECVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-4-RTP-C3HV高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV
  • 高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌
  • 型號(hào) OTF-1200X-4-RTP-C3HV
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 沈陽(yáng)市
屬性

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更新時(shí)間:2016-04-12 10:16:53瀏覽次數(shù):1706評(píng)價(jià)

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高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品(尺寸可達(dá) 3″ )的退火,并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱,Z快升溫速度可達(dá) 120℃/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

 

產(chǎn)品型號(hào)

  高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

主要特點(diǎn)

  1、Al2O3纖維鋼構(gòu),無需水冷或風(fēng)冷。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

  3PID制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。

  4、通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>208-240V AC  50/60Hz  10KW

  2、石英管:外徑Φ110mm,內(nèi)徑Φ103mm,長(zhǎng)380mm

  3、加熱元件:8根紅外燈管,燈絲長(zhǎng)200mm,絲圈Φ10mm,燈長(zhǎng)300mm

  4、加熱區(qū):300mm

  5工作溫度:zui高溫度1100

  6、控溫精度:±0.5

  7、zui高升溫速度:RT-800℃時(shí)為50/s,800-1000℃時(shí)為10/s

  8、溫控儀:可控硅(SCRPID自動(dòng)控制

  9真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水                  冷,循環(huán)水流量為0.5m3/hr

  10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

  11、質(zhì)量流量計(jì):3個(gè),MFC1范圍0-100sccm,MFC2范圍0-200sccmMFC3范圍0-500sccm,精度1±%FS

  12、氣罐:Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

  重量:爐體45kg,真空混氣系統(tǒng)75kg

 

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