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產(chǎn)品型號(hào)

  1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。

  2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，有效減少能量損失。

  3、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命。

  4、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。

  5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V   50/60Hz  5KW

  2、爐管：99.8%高純氧化鋁陶瓷管，外徑Φ80mm，內(nèi)徑Φ72mm，長(zhǎng)1000mm

  3、加熱元件：1800℃級(jí)硅鉬棒8根

  4、加熱區(qū)域：457mm

  5、恒溫區(qū)域：150mm

  6、工作溫度：zui高1700℃

  7、zui大升降溫速率：5℃/min

  8、控溫精度：±1℃

  9、真空度：5×10^-2 torr

  10、泄漏率：zui大6mtorr/min

  真空系統(tǒng)

  1、真空泵：雙旋片機(jī)械泵

  2、可達(dá)真空度：5×10^-2 torr

  3、法蘭：不銹鋼密封法蘭

  4、針閥：2個(gè)不銹鋼針閥

  5、真空泵接口：KF-25

  6、軟管接頭：1/4″

  7、真空顯示計(jì)：LED數(shù)字式真空顯示計(jì)，測(cè)量范圍0.1mtorr-850torr

  浮子流量混氣系統(tǒng)

  1、浮子流量計(jì)：3個(gè)，精確度4%FS

  2、流量計(jì)范圍：10-100cc/min，16-160cc/min，25-250cc/min

  3、壓力表：1個(gè)，監(jiān)測(cè)混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×500mm×700mm，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm，真空機(jī)組600mm×

             600mm×700mm

  重量：210kg

可選配件

  防腐型數(shù)字真空顯示計(jì)