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當(dāng)前位置:上海盈熾商貿(mào)有限公司>>日本OSAKA大阪真空>>渦輪分子泵>> TGkine3300M磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)TGkine3300M
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地上海
更新時(shí)間:2024-06-18 10:02:38瀏覽次數(shù):1205次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 化工儀器網(wǎng)泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
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葉輪數(shù)目 | 多級 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,能源,電子,制藥 |
OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列使用磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)無油的排氣,而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產(chǎn)品。
TG-M系列產(chǎn)品型號(hào):
TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M、TGkine3800M/TGkine4200M、耐反應(yīng)生成物 磁懸浮復(fù)合分子泵 TGkine-MI系列。
磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-B系列產(chǎn)品特點(diǎn):
■將電源控制器與分子泵一體化
■省電設(shè)計(jì)
■輕巧設(shè)計(jì)
■對應(yīng)防護(hù)等級IP54
■多種通信接口
■對應(yīng)國際規(guī)格
CE/NRTL/SEMI-S2
使用場合:
?半導(dǎo)體制造設(shè)備
?FPD制造設(shè)備
?太陽能電池制造設(shè)備
?玻璃/鏡片等光學(xué)元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙環(huán)境模擬設(shè)備
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | TGkine3300M | TGkine3300M-40 | TGkine3400M | |
吸氣口法蘭 | VG300 ISO-B320 | VG300 ISO-B320 | VG350 | |
排氣口法蘭 | KF40/KF50 | |||
排氣速度 | N2(L/s) | 3300 | ||
N2(附帶金屬防護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 3100 | |||
H2(L/s) | 2700 | |||
最大壓縮比 | N2 | >1×108 | ||
H2 | 3×103 | |||
極限壓力 | VG?ISO-B(Pa) | <2×10-7 | ||
VG?ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |||
最大氣體流量 | N2 (sccm) | 2100 | 4000 | 2100 |
啟動(dòng)時(shí)間 | (min) | ≦11 | ||
停止時(shí)間 | (min) | ≦13 | ||
允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 170/1.28※1 | ||
推薦輔助泵 | (L/min) | ≧2000 | ||
輸入電壓 | (V) | AC200-240V -15%+10% | ||
相數(shù) | 單相 | |||
頻率 | (Hz) | 50/60 | ||
電流 | (A) | Max. 5.3 | ||
所需電力 | (kVA) | Max. 0.9 | ||
通信接口 (規(guī)格可選) | Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet | |||
防護(hù)等級 | IP54 | |||
安裝角度 | 任意 | |||
重量 | VG?ISO-B(kg) | 69 | ||
控制器型號(hào) | 控制器與分子泵一體型 |
性能曲線圖:
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