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任意方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列使用了脂潤(rùn)滑陶瓷軸承，實(shí)現(xiàn)了小型、輕量、低成本。耐外部震動(dòng)，耐沖擊能力強(qiáng)，可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動(dòng)部，拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產(chǎn)品。

Osaka渦輪分子泵TG-F系列使用了脂潤(rùn)滑陶瓷軸承，實(shí)現(xiàn)了小型、輕量、低成本。耐外部震動(dòng)，耐沖擊能力強(qiáng)，可以把分子泵搭載到可搬式設(shè)備或設(shè)備的可動(dòng)部，拓展了渦輪分子泵的新應(yīng)用。提供排氣速度50L/s ～ 2400L/s的產(chǎn)品。

任意方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列產(chǎn)品特點(diǎn)：

無(wú)油的超高真空環(huán)境

機(jī)械式的氣體分子排氣(動(dòng)態(tài)排氣),對(duì)所有的氣體的排氣速度大致相同

可排稀有氣體和腐蝕性氣體

可連續(xù)排大流量氣體

可工作的壓力范圍寬。（～10-10Pa）

任意方位安裝復(fù)合分子泵 TG-F系列產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

■多個(gè)方位安裝
■輕巧設(shè)計(jì)
■節(jié)能
■迅速啟動(dòng)

■使用破控功能可迅速停止

■耐大氣沖擊能力強(qiáng)

■多種通信模式

應(yīng)用場(chǎng)合：

半導(dǎo)體制造

電子槍排氣，離子源排氣

FPD制造

表面處理，表面改質(zhì)

各種電子部件的制造

分析，試驗(yàn)裝置

管球制造，光學(xué)部件制造

加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究

熱處理

研究開(kāi)發(fā)

排放腐蝕性氣體時(shí)，請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列

技術(shù)規(guī)格：

型號(hào)

TG50F

TG60F

TG70F

TG220F

TG240F

TG350F

TG450F

TG800F

TG1100F

TG1400F

TG2400F

法蘭

吸氣口ISO-R/CF

KF40/63

100

160

200

250

排氣口

KF16

KF25

KF40

排氣速度

N2（附加金屬過(guò)濾網(wǎng)）

49L/s

55L/s

65L/s

210L/s

240L/s

310L/s

430L/s

750L/s

1000L/s

1300L/s

2300L/s

12L/s

22L/s

40L/s

100L/s

160L/s

210L/s

240L/s

650L/s

720L/s

750L/s

1100L/s

壓縮比

1.4×107

2×107

1×108

5×102

2×103

1×105

4×102

4×104

2×103

1×104

4.3×103

1.4×103

極限壓力

ISO-R/CF

＜3×10-6Pa

＜5×10-6Pa/＜1×10-6Pa

＜5×10-7Pa/＜1×10-7Pa

＜1×10-6Pa

＜1×10-6Pa/＜5×10-7Pa

＜1×10-6Pa

可達(dá)氣體流量

N2（sccm）

400

500

330/860

450

900/1500

推薦輔助泵

≥50L/min

≥25L/min

≥80L/min

≥250L/min

≥500L/min

容許輔助壓力

1330Pa

800Pa

1200Pa

260Pa

700Pa

260Pa

330Pa

200Pa

重量Kg

ISO-R/CF

4.2/6

3.4/5.4

3/5

5.5/8

7.3/10.5

6/9

7/10

27/26

28/27

29/30

45/47

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