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ULVAC愛發(fā)科低溫泵

CRYO-U 系列

CRYO-U10HSP

ULVAC CRYOGENICS

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

1. 適合濺射應(yīng)用。

2. 氬氣容量是現(xiàn)有型號(hào)（U10H）的2倍。

3. 再生時(shí)間間隔延長(zhǎng)意味著更高的可用性。

4. 可以進(jìn)行多個(gè)連接（多3個(gè)）。

新款ULVAC愛發(fā)科  標(biāo)準(zhǔn)低溫泵壓縮機(jī)單元

新款ULVAC愛發(fā)科  標(biāo)準(zhǔn)低溫泵壓縮機(jī)單元

使用 安裝組件可無(wú)需支架直接搭載

標(biāo)配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

特點(diǎn)

安裝方向自由

安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí)，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>

用途

分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)