產(chǎn)品名稱: 美國Teledyne API SCI-552 -臭氧發(fā)生器控制器

型號系列:SCI-552

品牌:Teledyne API

產(chǎn)地:美國

訂貨號:SCI-552

美國Teledyne API臭氧發(fā)生器控制器SCI-552介紹：

SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器，能夠為很多系統(tǒng)部件提供電氣控制界面，包括：臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計、背壓控制器、TAPI452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。SCI-552基于軟硬件特點，提供了很多系統(tǒng)聯(lián)鎖功能，它靈活性高，允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數(shù)字和模擬輸入來控制整個系統(tǒng)。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發(fā)生器并提供兩條獨立的臭氧輸出渠道。

美國Teledyne API臭氧發(fā)生器控制器SCI-552特征：

RS-232 MODBUS遠程支持
**多控制2臺臭氧發(fā)生器
**多與2臺452和470臭氧測量儀器交互
**多控制4臺質(zhì)量流量控制器
**多控制2臺背壓控制器
**多控制2個EV閥
**多控制1臺水冷卻器
系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入
遠程系統(tǒng)級別控制和狀態(tài)輸入/輸出

美國Teledyne API SCI-552臭氧發(fā)生器控制器應(yīng)用:

化學(xué)氣相沉積(CVD)
原子層沉積(ALD)
氧化物生長
表面處理
灰化
粒子清潔
光刻膠去除
其他

美國Teledyne API SCI-552臭氧發(fā)生器控制器規(guī)格: