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在半導體和液晶面板制造過程中，真空吸盤和機械吸盤系統(tǒng)通常用于固定基板以進行處理。然而，由于吸附、變形的影響以及對提高可靠性的要求，利用靜電力的卡盤已被廣泛采用在當今一代半晶圓設備中以克服這些限制。原裝spellman靜電卡盤 夾具
靜電吸盤由帶有表面電極的壓盤組成，這些電極被高壓偏置以在壓盤和晶片之間建立靜電力。
靜電卡盤有2種類型：Coulomb 和 Johnsen-Rahbek (J-R) 類型。它們的區(qū)別在于它們的介電特性，因此為產(chǎn)生夾緊力的方式。Coulomb卡盤的功能類似于傳統(tǒng)的介電電容器。原裝spellman靜電卡盤 夾具
J-R 型電阻大但有限，因此當表面緊密接觸并施加電壓時，電流會流過它和基板。 電荷積聚在基板和電介質之間的界面，提供夾持力。
此外，夾頭上電極（或極點）的不同配置用于獲得不同的特性。 可根據(jù)應用提供單極、雙極（兩極）和多極卡盤（包括 6 相六極類型）。
Spellman 可為全系列電子卡盤提供電源，其功能包括：
高壓雙極輸出（正/負），
輸出極性反轉功能，使晶圓夾持/脫夾持更容易，127 / 5000
通過電容測量（Coulomb卡盤）或電流測量（J-R 卡盤）檢測晶片狀態(tài)的能力，
模擬和數(shù)字接口，可輕松集成到各種系統(tǒng)中，
高可靠性，機械繼電器自由設計。
斯派曼提供廣泛的設計知識和制造能力，因此可以提供廣泛的定制產(chǎn)品以滿足各種要求。根據(jù)應用，這可能還包括諸如高壓偏置/偏移和 R.F. 過濾
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