阜陽5噸半導體超純水設備的工藝簡介：

1. 預處理系統(tǒng)

• 原水箱：采用不銹鋼材質(zhì)的立式圓桶，用于蓄水、沉淀和排放。配有進水控制閥、自動液位及低液位控制裝置，確保原水泵無水時停止運行，水位到達高度后再自動開啟原水泵。

• 原水泵：為預處理系統(tǒng)提供穩(wěn)定的供水流量和壓力，并配有管路回流裝置，以調(diào)節(jié)預處理系統(tǒng)的壓力及流量。

• 多介質(zhì)過濾器：利用石英砂等濾料，去除水中的懸浮物、膠體、顆粒雜質(zhì)等，降低水的濁度，保護后續(xù)設備。

• 活性炭過濾器：通過活性炭的吸附作用，去除水中的余氯、有機物、異色異味等，提高水的口感和質(zhì)量，同時還能延長反滲透膜的使用壽命。

• 阻垢加藥裝置：向水中添加阻垢劑，防止水中的鈣、鎂等離子在反滲透膜表面結(jié)垢，保證反滲透系統(tǒng)的正常運行。

2. 反滲透系統(tǒng)

• 精密過濾器：進一步去除水中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保進入反滲透膜的水達到更高的清潔度要求。

• 高壓泵：為一級反滲透裝置提供足夠的壓力，使水分子能夠克服滲透壓，通過反滲透膜。

• 一級反滲透：在壓力作用下，水分子透過反滲透膜，而大部分溶解性鹽類、膠體、微生物、有機物等被截留，從而得到初級純化水。一級反滲透產(chǎn)水電導率可達到10μS/cm以下。

• 一級產(chǎn)水箱：用于儲存一級反滲透產(chǎn)生的純化水，為后續(xù)的二級反滲透提供水源。

3. 后處理系統(tǒng)

• 紫外線殺菌器：利用紫外線的殺菌作用，殺滅水中的細菌、病毒等微生物，確保超純水在儲存和使用過程中不受微生物污染。

• EDI系統(tǒng)（連續(xù)電去離子裝置）：通過離子交換樹脂和電場的作用，去除水中的離子，使純化水的電阻率達到18兆歐以上，滿足對水質(zhì)要求高的生產(chǎn)工藝需求。

• 拋光混床：作為最后的精處理工序，進一步去除水中的微量離子和有機物，提高純化水的質(zhì)量。

• 用水點：將經(jīng)過上述處理后的純化水輸送到各個用水點，供工業(yè)生產(chǎn)使用。

綜上所述，阜陽5噸半導體超純水設備通過一系列精心設計的處理流程，從預處理到深度凈化，最終生產(chǎn)出高純度的超純水，滿足半導體工業(yè)中對水質(zhì)的高要求。