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當前位置:煙臺日特測量儀器有限公司>>儀器儀表>>濃度計>> FUD-1 Model-13 CMP富士工業(yè)超聲波液體濃度計
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號FUD-1 Model-13 CMP
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地煙臺市
更新時間:2024-11-29 07:42:42瀏覽次數(shù):1447次
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富士工業(yè)超聲波液體濃度計 FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用產(chǎn)品介紹:
超聲波液體濃度計單成分用
半導體制造用
FUD-1Model-13
測量原理
超聲波在液體中非常易于傳播
超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響
「濃度變化」→「密度變化」→「音速變化」
本產(chǎn)品利用超聲波的特性,高精度的測量溶液的濃度
測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示
可根據(jù)檢量線的交換測量各種半導體藥液的濃度
發(fā)信器小型、輕量,可直接在線裝置
免保養(yǎng)設計
接液部分全部采用(PFA)材料
小型輸出設計,對藥液沒有影響
單成分濃度計的特點
實時濃度測量可能,濃度管理系統(tǒng)構筑簡單
模擬DC4~20mA及數(shù)字RS232C標準輸出
標配測量錯誤輸出和警報輸出
標配自我診斷功能·錯誤信息提示
小型·輕量小型發(fā)信器在線直接設置可能
采用PFA的接液構件、小輸出設計對藥液沒有影響
優(yōu)點
高精度連續(xù)計測可能
無需定期調(diào)整、校對,無需維護
設置時的各種調(diào)整等不需要也容易設置
由于實時輸出反饋也容易
用途
在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等(H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等)
在清洗過程中的清洗液濃度管理等(HF?NH4OH?KOH?IPA等)
蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等(HF?H2SO4等)
富士工業(yè)超聲波液體濃度計 FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用參數(shù):
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