PEⅡ Series 低頻系列具有增強(qiáng)電弧控制功能和內(nèi)部負(fù)載匹配，適用于40KHz反應(yīng)濺射應(yīng)用。該系列電源設(shè)備按照雙磁控管濺射的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，作為真空清潔工具可靠有效，可用于多種PECVD應(yīng)用。

PEⅡ Series 電源設(shè)備可嚴(yán)格調(diào)節(jié)功率、電壓或電流輸出，測量精度為1%，兼容可編程邏輯控制器（PLC），提供 40 KHz 脈沖寬度調(diào)制 (PWM)，提供兩種不同的電弧處理電路，浮動(dòng)輸出可在任何一側(cè)接地。AE PEⅡ 5K 低頻電源 40KHz 5KW LF Power Supply采用整體水冷的散熱方案。

優(yōu)點(diǎn)

1.可靠性久經(jīng)驗(yàn)證，可有效提高系統(tǒng)利用率

2.精確調(diào)節(jié)功率、電壓或電流

3.可達(dá)到高靈活性和模塊化

4.增強(qiáng)電弧控制

5.寬輸出范圍

特點(diǎn)

1.5KW 和 10KW 可選（針對(duì)60KW的主/從配置）

2.內(nèi)部負(fù)載匹配（10：1阻抗范圍）

3.兩個(gè)不同的電弧處理電路

4.高效緊湊的水冷設(shè)計(jì)

5.符合CE標(biāo)準(zhǔn)

6.兼容Advanced Energy LMII 10K 匹配網(wǎng)絡(luò)，可在更高電壓下操作

AE PEⅡ 5K 低頻電源 40KHz 5KW LF Power Supply技術(shù)參數(shù)

Power ：5 and 10 kW models (primary/secondary capable for higher powers)

Output Frequency ：40KHz

Voltage Range ：300 to 950 V via seven selectable taps

ARC Management ：Both voltage and current detection

Cooling ：Water