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| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | GHW55A-13DF4L0-001 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型號 | GHW-55A | M/N | GHW55A-13DF4L0-001 |
| 頻率 | 13.56MHz | 輸出功率 | 5500W |
| 設備狀態(tài) | Refurblished |
MKS 射頻電源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W 高性能射頻電源 是MKS具有高可靠性的射頻等離子發(fā)生器，GHW 系列射頻發(fā)電機在 13.56 MHz 的頻率下提供不同額定輸出功率的設備選擇。該系列設備非常適用于集成電路、平板顯示器和數據存儲設備制造過程中的等離子增強化學氣相沉積 (PECVD)、高密度等離子 CVD (HDPCVD)、蝕刻和其他薄膜應用。
MKS 射頻電源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W
規(guī)格
類型：GHW 系列 13.56 MHz 射頻等離子發(fā)生器
頻率：13.56MHz ±0.005%
AC輸入：200-208V，3/PE~3W+G，38A，50-60Hz
輸出功率：GHW-55A：5500 W
負載阻抗范圍：無限
射頻穩(wěn)定性/雜散輸出：無條件穩(wěn)定運行限制內的任何負載 < -45dBc
諧波輸出和失真：< -40dBc
射頻連接器：N型
界面：標準：RS-232 Subminiature Type-D 9 針數字；可選的自定義接口卡可用。
讀出：數字讀數顯示頻率和正向、反射和負載功率。
機架安裝：提供 EIA（標準）19 英寸適配器
冷卻系統(tǒng)：水流為7.5L/min，水溫5℃~35℃，水壓413kPa / 60psi
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