ULVAC 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 MBX-1310L 1000w RF Matching Box 是一款專為ULVAC RFS Series 射頻電源設(shè)計(jì)并配套使用的匹配器。

ULVAC MBX Series RF Matching Box 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 特點(diǎn)

1.整體設(shè)計(jì)緊湊，輕量化

2.ULVAC RFS系列射頻電源專用配套匹配器

3.殘余反射波功率小于0.3%

4.設(shè)備整體設(shè)計(jì)可靠性高，可以有效降低客戶的使用成本

ULVAC 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 MBX-1310L 1000w 射頻匹配網(wǎng)絡(luò) 規(guī)格

射頻輸入頻率：13.56 MHz

額定功率：10 ~ 1000 W

輸入連接接口：N型

允許輸出電壓：≤ 2.5kVpp / ≤ 2.5kVdc

允許輸出電流：≤ 30A

負(fù)載抗阻：0.5 Ohm ≤ R ≤ 10.0 Ohm（在規(guī)定電壓和規(guī)定電流范圍內(nèi)）

殘余發(fā)射波功率：輸入行波功率的0.3%以下或10W以下，以較大者為準(zhǔn)

工作環(huán)境溫度：10℃ ~ 40℃（無冷凝）

工作環(huán)境要求：避免陽光直射、高溫、灰塵、振動(dòng)，不含腐蝕性氣體

散熱方式：風(fēng)冷散熱

設(shè)備外形尺寸：375mm * 350mm * 120mm（不包括突出部分）

設(shè)備重量：8公斤