KYOSAN 高壓直流電源 HPK4R8ZI 4.8KW DC Power Supply 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗證的具有優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力的高壓直流電源，是廣泛用作半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器、太陽能面板等制造工藝的直流電源，且支持無弧反應(yīng)濺射，可減少差異度提高良品率。

KYOSAN HPK Series 特點：

1.配備了CPU的數(shù)值控制與通信功能，同時操作非常簡單

2.可以在DC電壓的廣泛范圍內(nèi)供應(yīng)額定電力，是適用于高速電弧阻斷功能必*光學(xué)膜（SiO2,TiOx）、耐磨損膜（SiOx,Al2O3）以及透明傳導(dǎo)膜（ITO）的成膜工藝

3.支持與RF系統(tǒng)之間的耦合功能

KYOSAN 高壓直流電源 HPK4R8ZI 4.8KW DC Power Supply 技術(shù)參數(shù)：

1.設(shè)備品牌：KYOSAN

2.設(shè)備型號：HPK4R8ZI-TE11                                                                                    

3.AC 電源輸入：200 ~ 208V，3 phase ~，50/60Hz，25A

4.DC 電源輸出：1600V，4A（4.8KW max）

5.散熱方式：風(fēng)冷散熱

6.通信接口：DeviceNet，DIO，Debug

7.設(shè)備重量：40kg