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無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
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當(dāng)前位置：無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測試機(jī)>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>> AES-4535光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見問題

光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見問題

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號AES-4535

品       牌LNEYA/無錫冠亞

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地無錫市

更新時(shí)間：2024-01-07 19:08:34瀏覽次數(shù)：1810次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 5萬-10萬
冷卻方式 風(fēng)冷式 儀器種類 一體式
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,航天,制藥,汽車
元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見問題

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W		AES-6035
 AES-6035W		AES-8035
 AES-8035W		AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃～225℃-60℃～225℃-80℃～225℃-100℃～225℃-120℃～225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s		-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s		-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s		-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s		-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度：5℃～32℃  0～50%RH
空氣處理能力7m³/h ～ 25m³/h  壓力5bar～7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓）
循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC，模糊PID控制算法
溫度控制控制出風(fēng)口溫度
可編程可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有）
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機(jī)法國泰康/艾默生
蒸發(fā)器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥）
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（風(fēng)）cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸（水）cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風(fēng)冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔）
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8		1.2m³/h
G3/4		1.6m³/h
G1		2.6m³/h
G1		3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035）
溫度擴(kuò)展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見問題

光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)常見問題

　　光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)已廣泛用于工業(yè)領(lǐng)域，而光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)的常見問題主要是因?yàn)檎舭l(fā)溫度（蒸發(fā)器中制冷劑的飽和溫度）通常在-85℃至在85℃時(shí)，常規(guī)方法不能使用水作為制冷劑，因?yàn)橹评鋭┑臏囟鹊陀?/font>0℃，并且用于制冷劑熱交換的水的溫度很可能低于0℃。由于凍結(jié)，須在常規(guī)單元的制冷劑溶液中添加防凍劑以降低諸如乙二醇溶液之類的制冷劑溶液的凝固點(diǎn)。

　　但是，該方法存在許多問題：首先，使用和操作成本增加，并且乙二醇溶液易揮發(fā)。使用一段時(shí)間后，由于揮發(fā)濃度不夠，難以將水溫降低到使用所需的溫度，或者制冷劑溶液的揮發(fā)濃度降低，凝固點(diǎn)增加，并且結(jié)冰。在使用所需的溫度下發(fā)生，導(dǎo)致蒸發(fā)器的熱交換管凍結(jié)并破裂，從而導(dǎo)致故障；

其次，不允許某些用戶在制冷劑中添加防凍劑（例如乙二醇），例如：芯片工業(yè)，由于這些行業(yè)的使用量很高，一旦光刻機(jī)快速冷卻制冷機(jī)制冷劑溶液滲透并泄漏到中，就會影響使用靠譜性，因此將被直接丟棄，從而導(dǎo)致廢品率提高，產(chǎn)量減少等問題。

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