光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知

光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知

　　如今光刻機(jī)冷卻機(jī)組的使用越來越廣泛，在使用過程中，如何對光刻機(jī)冷卻機(jī)組進(jìn)行保養(yǎng)和維護(hù)，關(guān)系著設(shè)備的使用壽命以及是否能夠提高生產(chǎn)力的關(guān)鍵所在。

　　對于企業(yè)來說，設(shè)備保養(yǎng)負(fù)責(zé)人應(yīng)該制定每月的定期檢查和保養(yǎng)計劃。其內(nèi)容如下：檢查設(shè)備各個線路連接是否正常，以及電源線是否老化，檢查電源是否缺相。并且要做好檢查結(jié)果，對于有問題的應(yīng)及時上報，并且計劃完善對光刻機(jī)冷卻機(jī)組線路的檢查處理工作。另外在電氣方面，還應(yīng)該觀察和記錄設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時的電流。

　　除了定期觀察和記錄運(yùn)轉(zhuǎn)電流之外，還應(yīng)該對系統(tǒng)的壓力和溫度控制進(jìn)行觀察和記錄。做好數(shù)據(jù)記錄和統(tǒng)計工作，能夠通過數(shù)據(jù)對比有效的發(fā)現(xiàn)問題，從而解決問題。

另外在對光刻機(jī)冷卻機(jī)組的電氣檢查之外，還應(yīng)該檢查油位，冷媒系統(tǒng)，循環(huán)水水質(zhì)等。其中較為常見的故障往往出現(xiàn)在循環(huán)水的問題，當(dāng)循環(huán)水的水質(zhì)多時，往往會造成堵塞，此時除了要清理系統(tǒng)內(nèi)水質(zhì)雜志之外，還應(yīng)該更換循環(huán)水。檢查冷媒系統(tǒng)時，應(yīng)該著重檢測冷媒系統(tǒng)的量是否充足。

　　企業(yè)對于操作光刻機(jī)冷卻機(jī)組的人員應(yīng)該進(jìn)行培訓(xùn)工作，應(yīng)該讓員工在通讀光刻機(jī)冷卻機(jī)組說明書的前提下讓其上崗。并且在學(xué)習(xí)中，應(yīng)著重對其進(jìn)行光刻機(jī)冷卻機(jī)組的保養(yǎng)和維護(hù)工作的培訓(xùn)和講解。

　　如有必要，可以向廠商申請專門的售后服務(wù)人員，來對員工進(jìn)行培訓(xùn)教育。做好對光刻機(jī)冷卻機(jī)組做保養(yǎng)和維護(hù)其實(shí)基本的是要培養(yǎng)員工的保養(yǎng)和維護(hù)的意識，意識有了，然后就是增加員工的執(zhí)行力。做保養(yǎng)維護(hù)工作，重要的是持之以恒，將設(shè)備的故障率降低，就等于創(chuàng)造了效益和價值。