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當(dāng)前位置:無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測(cè)試機(jī)>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>> AES-4535ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)燒毀原因
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)AES-4535
品 牌LNEYA/無錫冠亞
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無錫市
更新時(shí)間:2024-01-07 19:19:40瀏覽次數(shù):1485次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
蝕刻機(jī)水冷機(jī)需要注意的選購(gòu)細(xì)節(jié)有哪些
光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
溫度范圍 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空氣處理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 壓力5bar~7.6bar | |||||
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓) 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | |||||
溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥) | |||||
操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) | |||||
溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ |
ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)燒毀原因
ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)燒毀原因
1、ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)頻繁啟動(dòng)
如果ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)器溫度設(shè)置不當(dāng),制冷溫度過低,制熱溫度過高,這時(shí)造成ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)頻繁開關(guān)機(jī),將縮短ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)壽命。
2、ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)電壓不穩(wěn)
電源電壓質(zhì)量不好如電壓過高或過低,都對(duì)ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)電機(jī)有不良影響,尤其是超出ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)額定電壓范圍使用,為不當(dāng),長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)使ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)電機(jī)處于低效過熱狀態(tài),造成絕緣不良,電機(jī)繞組燒毀。
3、壓縮機(jī)燒毀后制冷系統(tǒng)沒有清理干凈
對(duì)曾經(jīng)有壓縮機(jī)燒毀故障的ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)制冷系統(tǒng),一定要把制冷系統(tǒng)清理*,ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)電機(jī)燒毀時(shí)會(huì)有強(qiáng)酸產(chǎn)生并在系統(tǒng)中駐留,如沒有處理干凈,當(dāng)新的ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)后,殘留物質(zhì)會(huì)腐蝕ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)。
4、銅管系統(tǒng)清潔度不夠
其中含有水份,水份也會(huì)導(dǎo)致ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮電機(jī)絕緣不良;水份和冷媒及冷凍油在系統(tǒng)中循環(huán),經(jīng)高溫和低溫等狀態(tài)變化,會(huì)產(chǎn)生酸性物質(zhì),進(jìn)而會(huì)破壞馬達(dá)的絕緣層,工作時(shí)間一長(zhǎng),ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)電機(jī)就會(huì)燒毀。
5、壓縮機(jī)冷卻不良
回氣溫度太高或回氣量偏低,使壓縮機(jī)電機(jī)線圈冷卻不足。對(duì)風(fēng)冷熱泵機(jī)組這種情況較多發(fā)生,而且回氣溫度過高也會(huì)導(dǎo)致排氣溫度過高,造成一系列ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)問題出現(xiàn)。
6、壓縮機(jī)啟動(dòng)接觸器故障
接觸器觸點(diǎn)電阻過大或燒結(jié),造成ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)電機(jī)短路燒毀,或線路接觸不良,啟動(dòng)電流大很容易燒毀ICP刻蝕機(jī)配套冷卻循環(huán)水機(jī)壓縮機(jī)。
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