目錄:廣州金程科學(xué)儀器有限公司>>等離子表面處理儀>>涂覆機(jī)>> MSC/SC1/SC2旋涂機(jī)涂覆機(jī)
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更新時(shí)間:2024-08-27 16:19:56瀏覽次數(shù):509評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的旋涂機(jī)涂覆機(jī),是一種薄膜制備設(shè)備,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。
旋涂機(jī)原理:
旋涂機(jī) (spin coater)是一種薄膜制備設(shè)備。 在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,在離心力 作用下,使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均 勻的薄膜。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、 化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片, 基 片 ,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
旋涂機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體器件制備: 制備晶體管、太陽能電池、光伏器件等半導(dǎo)體器件的電極、介質(zhì)和敏感層材料。
光電子器件制造: 制備液晶顯示器、OLED 顯示器、LED 器件等光電子器件的薄膜材料。
生物醫(yī)學(xué)傳感器制造:生物醫(yī)學(xué)傳感器的敏感材料,如蛋白質(zhì)、 DNA 和細(xì)胞等。
納米材料制備:制備納米粒子、納米線和納米薄膜等材料,其制備過程對(duì)材料結(jié)構(gòu)和形貌具有一定的控制作用。
旋涂機(jī)特點(diǎn):
◆ 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),數(shù)字式增速信號(hào)反饋,速勻準(zhǔn)確,壽命長(zhǎng),保證勻膠均勻。
◆ 7寸全彩中英文互動(dòng)操作觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),可 選配20個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,最多100個(gè)階段。
◆ 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,最大限度的保證旋涂均勻,可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
◆ 多重安全保護(hù)
電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證安全;
蓋子自鎖功能,防止飛片蓋zi彈開傷人;
雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,最大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
◆ 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù),有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。
◆ 一機(jī)兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
◆ 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計(jì),取放樣品更方便。
◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯 (NPP-H) 材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
◆ 上下雙腔體設(shè)計(jì),較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。
◆ 可選氮?dú)獯祾?、氮?dú)獗Wo(hù),自動(dòng)滴膠或簡(jiǎn)易滴膠裝置,提供更多的操作便利性。
◆ 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。
旋涂機(jī)技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | MSC | SC1 | SC2 |
轉(zhuǎn)速 | 0-10000rpm | 0-10000rpm | 0-10000rpm |
加速度 | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s |
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | ±1% | ±1% | ±1% |
勻膠時(shí)間 | 0-9999s | 0-9999s | 0-9999s |
工作艙直徑 | 直徑180mm | 直徑180mm | 直徑240mm |
基片尺寸 | 圓片φ≤6時(shí),方片最大 105x105mm | 圓片φ≤6時(shí),方片最大 105x105mm | 圓片φ≤8時(shí),方片最大 140x140mm |
外型尺寸 | L245xW325xH215mm | L245xW325xH285mm | L305xW385xH285mm |
包裝尺寸 | L365xW445xH335mm | 1365xW445xH405mm | L425xW505xH405mm |
整機(jī)重量 | 6.3Kg | 7.6Kg | 11.6Kg |
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