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壓電力學(xué)探測器l彎曲導(dǎo)軌可實現(xiàn)最小傾斜度的線性運動l行程范圍為1 mml力至100 nl剛性和無側(cè)隙結(jié)構(gòu)l可提供集成位置傳感器l壓電執(zhí)行器的使用壽命l理想的OE...
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