阿斯塔克半導體行業(yè)配套傳動模組是專為半導體制造及相關(guān)精密設(shè)備設(shè)計的傳動解決方案，集成了高精度減速機、精密電機、傳感器及控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)微米級甚至納米級的運動控制精度，滿足半導體工藝對設(shè)備穩(wěn)定性和精度的嚴苛要求。采用諧波減速機、行星減速機等精密傳動機構(gòu)，結(jié)合高分辨率編碼器，實現(xiàn)±1μm以內(nèi)的重復定位精度，確保半導體設(shè)備在晶圓加工、檢測等環(huán)節(jié)的精準操作。

阿斯塔克半導體行業(yè)配套傳動模組特點：

薄型、小巧 

實現(xiàn)了機械、裝置小型化、構(gòu)造簡單化。

內(nèi)置剛性性能優(yōu)異的支撐裝置

用途：

半導體制造設(shè)備 : 搬運機器人、檢查平臺

液晶制造設(shè)備 : 搬運機器人、檢查平臺

光產(chǎn)業(yè)相關(guān)裝置