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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應用領域	環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

pnpWAFER FOUP 盒傳送裝置112

G8(長2200mm x 寬2400mm) 液晶玻璃基板制造設備用開合蓋裝置，具有升降、滑動、翻轉功能。這是液晶檢查設備的裝載/卸載裝置。存放在卡盒中的液晶基板，通過直角坐標系（X、Y、Z、Θ軸）的機械手控制，一張一張取出，基板對齊后，輸送至光學系統(tǒng)檢測（缺陷測量）裝置。檢查后，基板返回盒中。基板尺寸對應G3.5 (620mm x 750mm)。液晶面板用玻璃基板搬運夾具。
兼容基板尺寸 G7 (1870mm x 2200mm)。這是在半導體工廠中進行工序間搬運的中間搬入搬出裝置。將 AGV 和 PGV 提供的 FOUP 盒裝載到每個過程和中間儲料器以及從 OHT 站取回的設備。

(1) 將水分含量控制在極小量（ppb 至 1 位數(shù) ppm）的過程

　? TK-100 電容式露點計（氧化鋁型），可測量低露點 -100° C (

2) 極微量水分 (ppm) 由

　? TE-660 露點儀（聚合物型）低露點為

-60

　°C 的過程控制。（鏡面型）露點儀

④ 過程和無塵室需要相對濕度水平控制的

　? 簡單的 EE060

⑤ 需要大量水分并需要控制恒定水分的過程

　? 主要在高溫和高濕度下測量 EE33 帶防結露措施的溫濕度計

氧氣濃度測量

(1) 需要通過氫氣置換

　等去除氧氣的工序? 2001LC 原電池式氧氣濃度

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年，坐落于年輕奮進的深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務商。主要包括機電設備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國內貿易、經(jīng)營進出口等業(yè)務。聯(lián)合國際名品牌搭建工業(yè)品供應鏈，采用與 MRO分銷商結盟的方式，把零散采購訂單集中處理，流程簡化，提供一站式供應服務。在美國、德國、日本、韓國、中國臺灣建立采購中心，以流的專業(yè)國際采購團隊、技術顧問、銷售團隊為各種領域提供各類高品質的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質的整合服務。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國外生產(chǎn)廠家建立了長久合作伙伴關系。

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