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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

technofine原子層沉積（ALD）設(shè)備TFA-B180

特點(diǎn)

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。真空泵用油SMR為了在寒冷時(shí)也能發(fā)揮好的起動(dòng)性能粘度較低。
為了發(fā)揮出泵的性能，請(qǐng)盡量頻繁地對(duì)油進(jìn)行更換。
結(jié)構(gòu)緊湊，排氣量大。
氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。
豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。
內(nèi)置自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器等安全設(shè)計(jì)。
大氣壓下可運(yùn)作。
全壓力范圍可連續(xù)運(yùn)作。
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。

如果在負(fù)載運(yùn)作期間停止泵，然后立即重新啟動(dòng)，則可能無(wú)法重新啟動(dòng)。
在這種情況下，將泵內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓。

2　請(qǐng)不要吸入腐蝕性氣體，有機(jī)溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。
另外，請(qǐng)確保污垢和灰塵不會(huì)進(jìn)入泵內(nèi)部。

3　泵的滑動(dòng)材料會(huì)在運(yùn)行過(guò)程中磨損，產(chǎn)生磨損粉末。
此外，所使用的滑動(dòng)材料對(duì)抗水性較弱，因此吸入水分則會(huì)加速磨損并縮短其壽命。
不要吸入水分和可冷凝氣體（水蒸汽等）。

4　僅供室內(nèi)使用。
請(qǐng)勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。

5　將泵固定在設(shè)備等上時(shí)，請(qǐng)務(wù)必安裝防振橡膠。
防振橡膠的安裝螺釘尺寸為M5 x P0.8。
另外，安裝在泵側(cè)的防振橡膠螺釘?shù)拈L(zhǎng)度不應(yīng)超過(guò)10毫米。