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INFICON復(fù)合真空計

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產(chǎn)品型號3PC1-001-0000

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所  在  地廈門市

更新時間:2025-02-17 07:29:13瀏覽次數(shù):278次

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INFICON復(fù)合真空計
真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。

INFICON復(fù)合真空計



INFICON復(fù)合真空計


按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。


利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

INFICON復(fù)合真空計

與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。





熱陰極電離規(guī)



測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。



圖5 熱陰極電離規(guī)

如圖5所示,熱陰極電離規(guī)中,由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,產(chǎn)生離子,由收集極收集產(chǎn)生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。


經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。


由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標(biāo)定


在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計,麥克勞真空計,薄膜計,彈簧管壓力計等。


在10~10Pa的中間壓力范圍,利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo),粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。


在低壓力時,使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。


現(xiàn)貨庫存

INFICON PCG550 3PC1-001-0000

Infineon "FZ2400R17HE4_B9  "

infineon FF300R17KE3

Infineon FZ2400R17KE3_B9_S1

Intel EXPI9301CTBLK

INTELLIGENT IM483

Interface IBX-2130CM

INTERFACE IBX-2726CM

interface PCI-2130C

Invensys MP-5210-0-0-4



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