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行業(yè)產(chǎn)品
當(dāng)前位置:愛安德商貿(mào)(深圳)有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>> LR421-T日本ULVAC愛發(fā)科 高硬度表皮 干式真空泵
產(chǎn)品型號(hào)LR421-T
品 牌ULVAC/日本愛發(fā)科
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間:2024-07-02 12:01:27瀏覽次數(shù):153次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)日本ULVAC愛發(fā)科 緊湊型 油旋轉(zhuǎn)真空泵
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1千-2千 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科 高硬度表皮 干式真空泵
日本ULVAC愛發(fā)科 高硬度表皮 干式真空泵
通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
低溫區(qū)域均熱化(LR系列)
在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信,則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
成膜裝置(濺射裝置/蒸鍍裝置等)
縮短備料下料室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵(渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣)
型號(hào) | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
最大 排氣速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | |||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | 大氣壓 | |||||
最大排氣口壓力 (排出圧力) | 1~ 大氣壓 Pa | |||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
質(zhì)量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | 6.9 A (at 200V) | 11.2 A (at 200V) | 18.9 A (at 200V) | 20.8 A (at 200V) | |
最大值 | 7.3 A (at 200V) | 11.8 A (at 200V) | 20.6 A (at 200V) | 48.5 A (at 200V) | ||
冷卻水一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
冷卻水出入口壓差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
二次壓力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
氮?dú)獯祾?/td> | 軸 | 5 SLM | ||||
氣鎮(zhèn) | 0~45 SLM | 沒有 | 0~45 SLM |
*1 請(qǐng)訂購時(shí)確認(rèn)。
型號(hào) | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601-TR (TTR) | |
使用泵 | 干式 真空泵 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
機(jī)械 增壓泵 | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
最大 排氣 速度 | 50Hz | 359 m3/h (5,980 L/min) | 653 m3/h (10,900 L/min) | 1,012 m3/h (16,900 L/min) | 1,701 m3/h (28,350 L/min) | 3,200 m3/h(53,333 L/min) | |||
60Hz | 365 m3/h (6,080 L/min) | 701 m3/h (11,700 L/min) | 1,051 m3/h (17,500 L/min) | 1,784 m3/h (29,700 L/min) | |||||
到達(dá)壓力 | 0.67 Pa | ||||||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | 大氣壓 | ||||||||
最大排氣口壓力 (排出圧力) | 1~ 大氣壓 Pa | ||||||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
排氣口 | KF40 | KF50 | |||||||
MBP表面處理 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | |
質(zhì)量 | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
電源 *2 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | ||||||
電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | 7.0 A (at 200V) | 12.3 A (at 200V) | 13.7 A (at 200V) | 21.4 A (at 200V) | 31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | ||
最大值 | 9.6 A (at 200V) | 19.0 A (at 200V) | 24.2 A (at 200V) | 39.8 A (at 200V) | 58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |||
冷卻水 一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
冷卻水 出入口壓差 | >0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
吹掃氣 | 一次 壓力 | 0.1~0.5 MPa | |||||||
二次 壓力 | 0.05~0.1 MPa | ||||||||
N2 吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
氣鎮(zhèn) | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM |
*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
*2 請(qǐng)訂購時(shí)確認(rèn)。
*3 根據(jù)用途,使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。
■消音器 (選項(xiàng))
型號(hào) | 材質(zhì) | 表面處理 | 重量 (kg) | 法蘭 接口 | LR 300 | LR 600 | LR 1200 | LR 1800 | L& 3601 | LR 60 | LR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T |
RS-01 + kitA | SUS 304 | GBB處理 | 4.1 kg | KF40 | 〇 | - | - | - | - | 〇 | 〇 | - | - | - |
RS-01 + kitB | KF40 | - | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | - | |||
RS-02 + kitA | 8.3 kg | KF40 | 〇 | - | - | - | - | - | - | 〇 | - | - | ||
RS-02 + kitB | KF40 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | |||
RS-03 + kitA | 磨板 | 12.5 kg | KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | 〇 | 〇 | |
RS-03 + kitB | - | - | - | - | 〇 | - | - | - | - | - |
ULVAC 廠商介紹:
1952 年 ULVAC 成立時(shí),它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)投資公司,他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)"。
自成立以來,ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神,并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件,以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備,ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價(jià)值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價(jià)值
ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán),為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù),包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi),零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。
通過與客戶的溝通,共創(chuàng)繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。
盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時(shí)規(guī)模更大,但其冒險(xiǎn)精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神,以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求,為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會(huì)社 零部件事業(yè)部
愛發(fā)科機(jī)工株式會(huì)社
愛發(fā)科低溫有限公司
愛發(fā)科(寧波)有限公司
韓國愛發(fā)科低溫公司
愛發(fā)科低溫技術(shù)(寧波)有限公司
愛發(fā)科銷售有限公司
愛發(fā)科科技有限公司
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溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn),建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。