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當前位置：愛安德商貿（深圳）有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>> MS1200A日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣
| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 多級 | 應用領域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣
日本ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干泵 真空排氣
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC設計的轉子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排氣速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 適用規(guī)格 | CE、cTUVus | |||
| 標準附屬品 | Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer | |||
| 本體選配件 | Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM | |||
| 外部選配件 | Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve | |||
*1：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻"。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設備，ULVAC接受了利用技術進行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術創(chuàng)造新價值
ULVAC集團是一家企業(yè)集團，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內，零部件業(yè)務部門是一組負責開發(fā)、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務領域和不斷發(fā)展的技術。
盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業(yè)和科學的發(fā)展做出貢獻。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部
愛發(fā)科機工株式會社
愛發(fā)科低溫有限公司
愛發(fā)科（寧波）有限公司
韓國愛發(fā)科低溫公司
愛發(fā)科低溫技術（寧波）有限公司
愛發(fā)科銷售有限公司
愛發(fā)科科技有限公司
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