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泵軸位置	臥式	輸送介質(zhì)	油泵
葉輪數(shù)目	多級	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子,電氣,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵低功耗型

LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。

在4種機(jī)型中，您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

特點

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。
■標(biāo)配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
　這是一個在運轉(zhuǎn)過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛發(fā)科技術(shù)。
　該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本（*3)
■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話，建議您搭配機(jī)械增壓泵使用。
　通過組合使用排氣速度可以達(dá)到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C時
（*2）C規(guī)格時
（*3）L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。

用途

LS系列有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。

規(guī)格

型式	（C：C式樣）（L：L式樣）	LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
		C	L	C	L	C	L	C	L
最大排氣速度	m³/h	120		380		600		1000
到達(dá)壓力	Pa	≦0.6		≦0.1
電源電壓		200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或　400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略值 *1	kW	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷卻水量	L/min	>2.0		>4.0
Purge gas 量 *2	SLM	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50
最大水蒸氣處理量 *3	kg/h	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5
噪音值*1	dB(A)	61		61		62		64
吸氣口		KF50(水平)／ VG50(垂直)		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排氣口		KF40		KF40		KF40		KF40
質(zhì)量	kg	142		220		242		266
適用規(guī)格		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品		電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護(hù)器
本體選配件		電源電壓：200V級或400V級、密封部材質(zhì)：全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件		MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge

*1：到達(dá)壓力時
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應(yīng)無漏

ULVAC 廠商介紹：

1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險投資公司，他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)"。

自成立以來，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備，ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。

追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值

ULVAC集團(tuán)是一家企業(yè)集團(tuán)，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù)，包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。

在 ULVAC 集團(tuán)內(nèi)，零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。

通過與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來

ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。

盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大，但其冒險精神始終沒有改變。

ULVAC將繼續(xù)利用集團(tuán)的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

零部件事業(yè)部

ULVAC株式會社零部件事業(yè)部

愛發(fā)科機(jī)工株式會社

愛發(fā)科低溫有限公司

愛發(fā)科（寧波）有限公司

韓國愛發(fā)科低溫公司

愛發(fā)科低溫技術(shù)（寧波）有限公司

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