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PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）

SPTVI傳輸閥適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD，通過單軸氣動(dòng)執(zhí)行器對(duì)閘門進(jìn)行I形運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。在I形運(yùn)動(dòng)中，閘門垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置，在最后的運(yùn)動(dòng)中，它被水平推到閘門座上，密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閘門座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還最大限度地減少了密封磨損。

為了最大限度地減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門配備了硫化密封O型圈。這是一種比標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標(biāo)準(zhǔn)O型環(huán)密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

如果發(fā)生電源故障，SPTVI可以機(jī)械鎖定在關(guān)閉位置。

SPTVI系列已經(jīng)安裝在各種半導(dǎo)體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個(gè)要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。SPTVI系列設(shè)計(jì)堅(jiān)固，維護(hù)簡單，在各個(gè)方面都令人信服。

SPTVI傳輸閥始終根據(jù)客戶的規(guī)格量身定制。然而，預(yù)定義了四種基本設(shè)計(jì)類型：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)腔或外腔閥座的插入式閥門類型。

閥體材料選項(xiàng)包括鋁、硬質(zhì)陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可應(yīng)要求提供。

特征：

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l低振動(dòng)。獲得認(rèn)證的I-motion連桿

l壽命長

優(yōu)點(diǎn)：

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計(jì)有固定器，以防止拆卸時(shí)螺栓脫落

應(yīng)用:

l半導(dǎo)體加工

l氣動(dòng)鎖定（可選）

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板的制造

lLCD/平板工藝

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）

技術(shù)參數(shù)